钛泵检漏仪工作原理

传统的钛泵电源只用于去除密封装置中的残留空气，不需要稳压输出。因此，输出电压随着电网的波动和负载电流的大小而波动。钛泵电源作为一种特殊的泄漏检测，要求稳压输出，才能判断输出电流增量是微泄漏的电流增量，从而找到泄漏位置。由于钛泵电源的特点是输出高电压、小电流（甚至无电流）。因此，我们选择了开关电源的技术方案，一般开关电源不允许空载（即在微电流下不能工作），但钛泵泄漏检测仪的工作是一般开关电源的禁区。为了解决这个问题，我们采取了一些措施，使开关电源在完全空载的情况下不会损坏。电流采样的技术方案是将电流增量转化为电压增量，简化整体电路设计。计算放大器和输出信号的零位调整是钛泵泄漏检测仪能否达到效果的关键问题，尤其是输出信号的零位调整。在电流采样中，已经提到将电流信号转换为电压信号。

因此，电压放大器可以用于计算放大器。目前，有许多高稳定性和低漂移的计算放大器，这并不难解决。关键是零，至关重要。原因有两个。首先，在不同的测量范围内，计算放大器的放大倍数是不同的。无论放大多好，输出信号在不同的闭环放大倍数下总会有所不同；二是负载（指钛泵）本身，由于导线绝缘性能差，会造成一定数量的漏电流。这种漏电流往往大于实际显示真空装置中的压力电流。因此，在钛泵泄漏检测仪的电路设计中，要考虑减少这部分无用的漏电流，以达到高灵敏度显示的目的。因此，我们通过调整零来解决漏电流的影响。负载（钛泵）电流指示由于计算放大器的输出信号是电压，因此我们将输出的电压转换为电流显示。

以下简要介绍了钛泵泄漏检测的工作原理。基于钛泵对泄漏气体泵送速度的选择性。当真空密封装置有轻微泄漏时，钛泵的泵送量等于泄漏量，形成一定的平衡压力。平衡压力类型如下：Pt=P1+1/V[FQL+（Qidt）]（1）在真空密封装置中，假设QL≤（Pt-P1）V/t（2）离开装置的时间；P1离开前排气系统的*限压力；QL一个装置的实际泄漏；Qi一个装置的泄漏；V一个装置的体积。

钛泵主要依靠化学吸附排除活性气体O2.H2.CO2等气体，降低密封装置内的压力，降低钛泵的放电电流，消除惰性气体He.Ar等气体主要依靠物理吸附，使钛泵的放电电流较大。可以看出，当钛泵的放电电流与平衡压力成正比时，通过漏孔进入钛泵时，泵电流会发生变化。根据这一变化，可以检测到真空密封装置的漏孔。